آشنایی با دستگاه SPM
امروزه اهمیت شناسایی و بررسی مواد و سیستمها با استفاده از سیستمهای مشخصهیابی در فناوریهای پیشرفته و تحقیقات به عنوان یک بخش مهم و غیرقابل اجتناب مطرح است .
میکروسکوپهای پروبی روبشی یکی از کاربردیترین سیستمهای مشخصهیابیاند که با داشتن مجموعهای از تکنیکها توانایی بررسی سطح مواد با قدرت تفکیک بالا در محدوده نانومتر و حتی آنگستروم را دارند. در یک نگاه کلی میکروسکوپ پروبی روبشی((SPM)scanning probe microscopy) عنوان جامعی برای مجموعه گستردهای از تکنیکهایی است که توسط یک پروب(probe)(سوزن(tip)) سطح مواد را درمقیاس نانو و حتی آنگستروم را روبش میکند و تصاویر توپوگرافی از یک خاصیت ویژه از سطح مواد ارائه میدهد.
دستگاه تركيبي تونلي روبش و نيروي اتمي كه با نام پروبي روبشي نيز معروف است، تركيبي از دو دستگاه STM و AFM مي باشد. در اين دستگاه با تعويض كنتيلور متصل به كلاهك دستگاه مي توان مد تصويربرداري را تغيير داد.
در اين دستگاه در مقايسه با نمونه هاي مشايه امكان جابجايي مد تصويربرداري به آساني و تنها با تعويض تيپ انجام مي شود. لذا مكانيزم كلي اين دستگاه به صورت زير است.
الف- سیستم STM دارای مود های
- تصویر برداری جریان ثابت
- تصویر برداری ارتفاع ثابت
- اسپکتروسکوپی IV
- اسپکتروسکوپی IZ
- لیتوگرافی جریان تونلی
- دامنه پیمایش عرضی 8um با رزولوشن درایو 0.12nm
- دامنه پیمایش عمودی 3um با رزولوشن درایو 0.05nm
ب- سیستم AFM دارای مود های
- تصویر برداری تماسی به صورت ارتفاع ثابت
- تصویر برداری تماسی به صورت نیرو ثابت
- خروجی توپوگرافی، نیروی قائم و جانبی برای مود های تماسی
- تصویر برداری نیمه تماسی
- تصویر برداری غیر تماسی
- خروجی همزمان توپوگرافی، دامنه، فاز، برای هر دو مود نیمه تماسی و غیر تماسی
- اسپکتروسکوپی نیروی اتمی
- لیتوگرافی AFM
- دامنه پیمایش عرضی 16um با رزولوشن درایو 0.24nm
- دامنه پیمایش عمودی 4um با رزولوشن درایو 0.061nm
اجزای مختلف دستگاه شامل یک دستگاه کامپیوتر و یک کیس الکترونیک واحد و دو هد جداگانه برای STM و AFM که کاربر می تواند با توجه به نیاز خود یکی از هد ها را به سیستم متصل کرده و استفاده کند.
براي دريافت مشخصات كامل و نحوه عملكرد هر مد به بخش هاي زير مراجه فرماييد:
ميكروسكوپ نيروي اتمي
ميكروسكوپ تونلي روبشي
تصاویرAFM گرفته شده با دستگاه SPM: